プロトスクッション

■PUタイプ(帯電防止)

品番	MA-4U-5/10/15/20(4インチ用) MA-5U-5/10/15/20(5インチ用) MA-6U-5/10/15/20(6インチ用) MA-8U-5/10/15/20(8インチ用) MA-12U-5/10/15/20(12インチ用)
特長	緩衛性に優れている静電気対策クッションです。
表面抵抗値	8×10¹¹Ω/□以下(22℃、40%RH)
規格	クッション厚みは5mm、10mm、15mm、20mm、の4種類あります。
材質	帯電防止ポリウレタン

品番	MA-4PESD-1/3/5/10(4インチ用) MA-5PESD-1/3/5/10(5インチ用) MA-6PESD-1/3/5/10(6インチ用) MA-8PESD-1/3/5/10(8インチ用) MA-12PESD-1/3/5/10(12インチ用)
特長	緩衛性に優れ、低イオンコンタミの導電性クッションです。
表面抵抗値	1×10⁶Ω/□以下(22℃、40%RH)
規格	クッション厚みは1mm、3mm、5mm、10mm、の4種類あります。
材質	導電性ポリエチレン