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ウェハー搬送システム
プロトス®キャリアMAシリーズ
ウェハー搬送ケース
| 品番 | MA-5(5インチキャリア) MA-6(6インチキャリア) MA-6S(6インチスリムキャリア) MA-8(8インチキャリア) MA-8S(8インチスリムキャリア) MA-12(12インチキャリア) |
|---|---|
| 特長 | ・二重構造設計で耐衝撃性が高く、内部のウェハーを厳重に保護します。 ・自動機(ロボット)でウェハーの出し入れが出来ます。 ・蓋裏に3.5インチデータフロッピーの収納可。(8インチのみ) ・蓋と本体は回転脱着式です。 ・段積みが可能。 |
| 1×106Ω以下 | |
| 材質 | 導電性PP |
主要寸法
| 品番 | ウェハーの径 | H(mm) | h(mm) | D(mm) | A(mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| MA-5 | 5インチ | 90 | 50 | 128±1 | 150 |
| MA-6 | 6インチ | 90 | 50 | 153±1 | 175 |
| MA-6S | 6インチスリム | 63 | 38 | 153±1 | 175 |
| MA-8 | 8インチ | 103 | 54 | 203±1 | 226 |
| MA-8S | 8インチスリム | 65 | 38 | 203±1 | 226 |
| MA-12 | 12インチ | 76 | 44 | 302±1 | 328 |
1枚入ウェハーケース
| 品番 | MA-12/ONE-ST(本体） MA-12/ONE-SPCL(セパレート式青クリップ) MA-12/ONE-FXCL(固定式黒クリップ) |
|---|---|
| 特長 | 12インチウェハーを1枚で安全に搬送できます。 クリーンで低アウトガスの導電材料（STポリ）を採用しているため、保管時のアウトガスも安全です。 オプションの真空成形トレイを使用することで8インチウェハーにも対応します。 |
| 1×106Ω以下 | |
| 材質 | 本体 導電性PC 青クリップ 導電性PC 黒クリップ 導電性PP |
※1枚入りｳｪﾊｰｹｰｽのお買い求めの際は、本体とｸﾘｯﾌﾟをお買い求めいただけますようお願いいたします。
※１枚入りｳｪﾊｰｹｰｽ用の３０枚／梱包のﾌﾟﾛﾄｽｽﾍﾟｰｻｰもご用意しております。詳しくは販売担当者もしくはお問合せにてお問合せ下さい。
