ウェハー搬送システム

| 品番 | ND-6(6インチウェハー用ダイシングフレーム対応) ND-8(8インチウェハー用ダイシングフレーム対応) |
|---|---|
| 特長 | ・ダイシングフレーム付ウェハー梱包の手間を簡略化し、 作業効率をアップします。 ・ダイシングフレーム付ウェハーを最大13枚積層可能です。 ・ダイシングフレーム用ストッパー付 (フレームの種類により異なります) ※6、8インチのダイシングフレーム付ウェハーに対応した クッション材及びスペーサーもご用意しております。 詳しくはお問い合わせ下さい。 |
| 表面 抵抗値 | 1×106Ω/□以下 |
| 材質 | 導電性ポリプロピレン |


| 品番 | ウェハーの径 | H(mm) | h(mm) | D(mm) | A(mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| ND-6 | 6インチフレーム付 | 83 | 40 | 230±1 | 252 |
| ND-8 | 8インチフレーム付 | 92 | 57 | 299±1 | 322 |
| ND-12 | 12インチフレーム付 | 74 | 45 | 403±1 | 430 |