ウェハー搬送システム

プロトススペーサー

プロトススペーサー

アキレスのクリーン技術と特殊加工技術により、搬送時のシリコンウェハーを安全に保護するスペーサーを開発いたしました。

PEAタイプ

品名プロトススペーサー　PEAタイプ
品番PEA-4-350
PEA-5-350
PEA-6-350
PEA-8-350
PEA-12-350
特長低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された
新しいスペーサーです。
表面抵抗値1×1012Ω以下
規格シート厚みは100μm、エンボス高さ含み350μm
材質帯電防止ポリエチレン

CPSタイプ

品名プロトススペーサー　CPSタイプ
品番CPS-4-250
CPS-5-250
CPS-6-250
CPS-8-250
CPS-12-250
特長低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された
新しいスペーサーです。
表面抵抗値1×109Ω以下
規格シート厚みは100μm、エンボス高さ含み250μm
材質導電性ポリエチレン

MAタイプ

品名プロトススペーサー　MAタイプ
品番MA-4-65/100N/120/230
MA-5-65/100N/120/230
MA-6-65/100N/120/230
MA-8-65/100N/120/230
MA-12-65/100N/120/230
特長発塵性に少ない弊社開発のST-Fiberを配合した導電性シートです。
自動機(ロボット)対応。
表面抵抗値1×106Ω/□以下
規格シート厚みは50μm、100μm、200μm、の3種類あります。
材質導電性オレフィン系樹脂

お問合わせ

このページの先頭に戻る