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導電性ポリマーを使用した透明・クリーンな導電加工技術です。 |
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人体の静電気を除去するために身につける製品です。 |
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静電気対策エリアで使用する設備品です。 |
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自己放電式の除電ブラシや帯電物の表面電位を計る測定器です。 |
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静電気に弱い部品や製品のための包装資材です。 |
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静電気対策エリアで使用する文具です。 |
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| ■ 1枚入ウェハーケース |
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| 商品名：プロトス®キャリアMAシリーズ |
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| 品 番 |
MA-12/ONE-SP(セパレート式青クリップ)
MA-12/ONE-FX(固定式黒クリップ) |
| 特 長 |
| ・ |
12インチウェハーを1枚で安全に搬送できます。クリーンで低アウトガスの導電材料（STポリ）を採用しているため、保管時のアウトガスも安全です。オプションの真空整形トレイを使用することで8インチウェハーにも対応します。 |
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表面
抵抗値 |
1×106Ω/□以下 |
| 材質 |
導電性ポリカーボネイト |
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| ■ ウェハー搬送ケース |
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| 商品名：プロトス®キャリアMAシリーズ |
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| 品 番 |
MA-5(5インチキャリア)
MA-6(6インチキャリア)
MA-6S(6インチスリムキャリア)
MA-8(8インチキャリア)
MA-8S(8インチスリムキャリア)
MA-12(12インチキャリア) |
| 特 長 |
| ・ |
二重構造設計で耐衝撃性が高く、内部のウェハーを厳重に保護します。 |
| ・ |
自動機(ロボット)でウェハーの出し入れが出来ます。 |
| ・ |
蓋裏に3.5インチデータフロッピーの収納可。
(8インチのみ) |
| ・ |
蓋と本体は回転脱着式です。 |
| ・ |
段積みが可能。 |
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表面
抵抗値 |
1×106Ω/□以下 |
| 材質 |
導電性ポリプロピレン |
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| 商品名：プロトス®キャリアNDシリーズ |
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| 品 番 |
ND-6(6インチウェハー用ダイシングフレーム対応)
ND-8(8インチウェハー用ダイシングフレーム対応) |
| 特 長 |
| ・ |
ダイシングフレーム付ウェハー梱包の手間を簡略化し、作業効率をアップします。 |
| ・ |
ダイシングフレーム付ウェハーを最大13枚積層可能です。 |
| ・ |
ダイシングフレーム用ストッパー付
(フレームの種類により異なります) |
| ※ |
6、8インチのダイシングフレーム付ウェハーに対応したクッション材及びスペーサーもご用意しております。
詳しくはお問い合わせ下さい。 |
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表面
抵抗値 |
1×106Ω/□以下 |
| 材質 |
導電性ポリプロピレン |
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| 品 番 |
ウェハーの径 |
H
(mm) |
h
(mm) |
D
(mm) |
A
(mm) |
| MA-5 |
5インチ |
90 |
50 |
128±1 |
150 |
| MA-6 |
6インチ |
90 |
50 |
153±1 |
175 |
| MA-6S |
6インチ |
63 |
38 |
153±1 |
175 |
| MA-8 |
8インチ |
103 |
50 |
203±1 |
226 |
| MA-8S |
8インチスリム |
65 |
38 |
203±1 |
226 |
| MA-12 |
12インチ |
76 |
44 |
302±1 |
328 |
| ND-6 |
6インチ
フレーム付 |
83 |
40 |
230±1 |
252 |
| ND-8 |
8インチ
フレーム付 |
92 |
57 |
299±1 |
322 |
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| ■ クッション材 |
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| 商品名：プロトス®クッション |
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| ■PUタイプ（帯電防止） |
品 番
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MA-4U-5/10/15/20(4インチ用)
MA-5U-5/10/15/20(5インチ用)
MA-6U-5/10/15/20(6インチ用)
MA-8U-5/10/15/20(8インチ用)
MA-12U-5/10/15/20(12インチ用) |
| 特 長 |
緩衛性に優れている静電気対策クッションです。 |
| 表面抵抗値 |
8×1011Ω/□以下(22℃、40%RH) |
| 規 格 |
クッション厚みは5mm、10mm、15mm、20mm、の
4種類あります。 |
| 材質 |
帯電防止ポリウレタン |
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| ■PEタイプ（導電性） |
品 番
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MA-4PESD-1/3/5/10(4インチ用)
MA-5PESD-1/3/5/10(5インチ用)
MA-6PESD-1/3/5/10(6インチ用)
MA-8PESD-1/3/5/10(8インチ用)
MA-12PESD-1/3/5/10(12インチ用) |
| 特 長 |
緩衛性に優れ、低イオンコンタミの
導電性クッションです。 |
| 表面抵抗値 |
1×106Ω/□以下(22℃、40%RH) |
| 規 格 |
クッション厚みは1mm、3mm、5mm、10mm、の
4種類あります。 |
| 材質 |
導電性ポリエチレン |
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| ■ スペーサーシート |
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| 商品名：プロトス®スペーサー |
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品 番
MAタイプ |
MA-4-65/120/230
MA-5-65/120/230
MA-6-65/120/230
MA-8-65/120/230/100N
MA-12-65/120/230/100N |
| 特 長 |
発塵性に少ない弊社開発のST-Fiberを配合した導電性シートです。 自動機(ロボット)対応 |
| 表面抵抗値 |
1×106Ω/□以下(22℃、40%RH) |
| 規 格 |
シート厚みは50μm、100μm、200μm、
の3種類あります。 |
| 材 質 |
導電性オレフィン系樹脂 |
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品 番
PEAタイプ |
PEA4-350
PEA5-350
PEA6-350
PEA8-350
PEA12-350 |
| 特 長 |
低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。 |
| 表面抵抗値 |
1×1011Ω/□以下 |
| 規 格 |
シート厚みは100μm、エンボス高さ含み350μm |
| 材 質 |
導電性ポリエチレン |
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| 品 番 |
CRO-4-150/400
CRO-5-150/400
CRO-6-150/400
CRO-8-150/400
CRO-12-150/400 |
| 特 長 |
低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。 |
| 表面抵抗値 |
1×106Ω/□以下 |
| 規 格 |
シート厚みは100μm、エンボス高さ含み150μ
シートの厚みは70μ、エンボス高さ含み400μ |
| 材 質 |
導電性ポリエチレン |
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